牌坊、禅房进行修缮，又在山门外新建灵官庙一座，吹鼓房三间。14乾隆五年，当地信女栗氏先于雍正八年（1730）生子后祈愿，愿于开锁之年施银十两，为修葺神祠之费，这时还愿，对山门进行了修葺。15雍正十三年至乾隆六年，僧能宜与庆丰三都耆老共谋，并分头募化，重修正殿、乐台，彩画神像，雕刻栋梁。16乾隆二十八年，由吉村诸善士捐资财、助工力，将牌坊移前丈余，“向之荒阶改为细阶”，阶下新建月台，台下又新建“细阶”数十丈，并对山门、牌坊进行了彩画。17乾隆三十八年，变卖山里枯死松树二株所得价钱六十二千，募化布施十数两，财主与商家黄甫川、万兴号、榆次县商人吕福高等人施银12两，在下院修东、西房各三间，南畔下甃石壁，上砌护栏，将梳洗楼两廊彩画、圣母像重修塑妆，又置隔子四扇。18这次新建东西厢房的主要用途是作庙会时女人的休憩之所，以防止男女混杂。嘉庆十五年（1814）春至十七年秋，里中各村集资，又募化于远迩，对上院之殿宇、山门、式廓修缮，增修钟鼓楼，东西分列配享祠，还在阶下别建碑房，客厅；对下院梳洗楼、修真洞、痘神祠也进行了修饰。19咸丰元年至二年，以所募二千余金，“正殿则改墙而易宇，两廊则仍旧而增新。于痘神祠，则建小厅，于修真洞则加前檐。又于正门外，添修东屋三楹，西屋六楹，大门一座。”20现存正殿山墙厚重，宽及檐边，可能是这次修葺的结果。现存山门也是这次兴建，与现存牌匾纪年相符。自咸丰元年到四年，还募钱二仟四佰缗有奇，“除修正庙一切外，又于乐楼西建石洞三眼，乐楼南建小石桥一座，山门外修花栏墙十数丈。”21咸丰七年又在新山门前修了砖牌楼。至此形成庙宇的最后面貌。光绪二十年（1894）到二十一年，约集钱百有三千万圆，“历所建增若殿、若庑、若门、若阶、若坊、若洞、若泉楼、若禅房之属之旧者，悉一一新之。”22是一次全面的修缮，但没有扩建。现存上院西配殿存这次工程的功德碑，除各村、各方捐助外，许多商铺出资支持。光绪二十四年，“自殿廷以及廊庑，下逮庖湢、寮房、栋宇之朽者新之；丹雘之黝者泽之，焕然一新。”23也没有扩建。
二、烈女传说及主神功能
庙存明代最早的嘉靖四年碑即记载：“水神者，烈女也，前代柴氏之女，贞节而为神，高名而不污。”24万历元年碑也载“据县志，谓柴世宗之女死烈于斯，其以水名神者，因山有泉故名。”25（图6）可见明代碑载与县志都持一种说法。天启六年碑载细节更多一些：“圣母姓柴氏，盖后周世宗之女，矢志修行，誓不适人，遂寄迹于此，因以超凡缘。”26几个关键点：“柴氏”、“周世宗女”、“修行”、“不适人”、“寄迹于此”，“死烈于斯”。清代也延续了这种传说。盖言周宋易代之际，后周世宗之女柴氏逃至盂县水神山隐迹修行，且不适于人，后见复国无望，又吊山中枣树自尽。庙中藏有烈女遗骸，上院正殿神台上刻有咸丰元年题记：“石台内系圣母真体所藏，后人修庙不可轻动。”不过这个传说也有人提出质疑，光绪二十二年《水神山古烈女柴花圣母祠重修碑记》碑言：
惜事迹不见于正史。自明志据俗传，柴氏一言书作周世宗女，后遂因之。抑知世宗虽出守礼自继威，究未还宗。故史于其子宗训犹系之郭，谓女独舍国姓而氏柴乎？观当日陈桥三誓，宋首禁警犯后宫，故周鼎虽移，而后与帝，固无恙也。彼公主奚为而独逃？夫韩通，周臣也，而首褒之；符彦乡，周勲戚也，而信厚之。岂独于皇皇帝女反听客死穷山，而弗加旌问哉！吾料世宗有常女也，不事后汴宫，即依帝房邸耳。如非常也，将南奔淮，北走潞，赴想于周之世臣怀忠义而拥镇兵如李筠、重进